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P1270

ダイヤフラムバルブ (手動式)
仕様
●材質:アルミシリコン合金
●リーク量:10-6mbarl/s(バルブ)、10-7mbarl/s(カプリング)
●使用圧力:900000〜1×10-3Pa
●ベーク温度:60℃
脚注
※型番( )内は、ダイヤフラムの材質です。
ダイヤフラムバルブ

品番 型 番 口径(mm) 接続口 サイズ(mm)
2551-3059-01 SP10K(ニトリル) φ10 NW10 60× 42× 86
2551-3059-02 SP16K(ニトリル) φ16 NW16 80× 42× 86
2551-3059-03 SP25K(ニトリル) φ25 NW25 100×67×140
2551-3059-11 SP10K(フッ素ゴム) φ10 NW10 60× 42× 86
2551-3059-12 SP16K(フッ素ゴム) φ16 NW16 80× 42× 86
2551-3059-13 SP25K(フッ素ゴム) φ25 NW25 100×67×140
2551-3059-14 SP40K(フッ素ゴム) φ40 NW40 130×105×150

 
 
ベローズバルブ (手動式)
仕様
●材質:アルミシリコン合金
●リーク量:10-9mbarl/s
●使用圧力:21×104〜10-7Pa(2100〜10-9mbar)
●ベーク温度:70℃
脚注
※ステンレス製、空圧式(PVPK型)・電磁式(PVEK型)のタイプもございます。
お問い合わせください。
ベローズバルブ(手動式)

品番 型 番 口径(mm) 接続口 サイズ(mm)
2551-3060-01 PV10K φ10 NW10 38×68×105
2551-3060-02 PV16K φ16 NW16 38×78×114
2551-3060-03 PV25K φ25 NW25 51×101×149
2551-3060-04 PV40K φ40 NW40 77×151×222

 
 
バルブ
仕様
●最大流量:LV10K/0.1l(差圧105Pa時)
●耐圧:LV10K/21×104Pa〜1-4Pa
●サイズ:AV10K/φ30×37.5(42)mm、LV10K/φ62×88.5mm
バルブ
品番 型 番 タイプ リーク量
2551-3061-01 AV10K リ-クバルブ 10MPal/s
2551-3061-02 LV10K ニ-ドルバルブ 10MPal/s
 
 

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